API激光干涉儀介紹

API激光干涉儀介紹

API激光干涉儀技術參數：

5D/6D標準型： 

1. API激光干涉儀線性：0.5ppm 

2. API激光干涉儀測量范圍：40米（1D可選80米） 

3. API激光干涉儀偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 

4. XD LASER API激光干涉儀大范圍：800角秒 

5. 滾動角精度：1.0角秒 

6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 

7. 大范圍：500um 

8. 垂直度精度：1角秒 

9. 溫度：0.2攝氏度 

10.濕度：5% 

11.壓力：1mmHg 

API激光干涉儀5D/6D精密型： 

1. 線性：0.2ppm 

2. 測量范圍：25米 

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 

4. 大范圍：400角秒 

5. 滾動角精度：0.5角秒 

6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 

7. 大范圍：300um 

8. 垂直度精度：0.5角秒 

9. 溫度：0.1攝氏度 

10.濕度：3% 

11.壓力：0.3mmHg